机器视觉检测技术引入透明石英玻璃管质量检测场景，正在推动石英玻璃管检测向更高精度、在线实时监测的智能检测方法不断升级。

一、石英管传统检测方式及局限

石英管被喻为“高端制造的血管”，广泛应用于半导体制造、光伏电池、光纤通信等高端制造领域，需要高纯度和高稳定性的场景，透明石英玻璃管的质量直接决定终端产品的性能与寿命。

长期以来，透明石英玻璃管外观检测常见的检测方法——目视观察，在明亮的环境下，直接用肉眼仔细查看石英管的外观，特别要留意石英管的两端和管壁，这些部位更容易出现问题，检查是否有气泡/气线、划伤/划痕、崩边、倒角或其他明显的缺陷。传统的依靠人工目检，局限性显著，效率低、精度不足、漏检率难以控制。人工检测已无法满足半导体、光伏等行业对石英管“零缺陷”的严苛要求。

检测对象：透明石英管

机器视觉技术的引入正在改变这一局面，对透明石英玻璃管的检测向着更高精度、在线实时监测的智能检测方法不断升级。

二、需求：石英管外观检测项目

石英管外观检测项目包括：检查管壁受否有气泡/气线、划伤/划痕等缺陷，检查管口是否有崩边、倒角等缺陷。

三、技术：“高精度光学成像+图像处理+AI算法”，机器视觉检测赋能石英管智能质检

      赛拓星眸透明石英玻璃管外观检测解决方案，通过多组工业相机、特定照明方案采集石英管高精度图像，经图像预处理、边缘检测、目标分割、缺陷识别等步骤，实现缺陷自动检出与分类，石英玻璃管表面360°全方位覆盖和360°无盲区检测，检测像素精度10微米（可根据需求定制）。

石英管管壁“划伤”缺陷

石英管管壁“划伤”缺陷

石英管管壁“气线”缺陷

石英管管口“倒角”缺陷

石英管管口“倒角”缺陷

石英管管口“崩边”缺陷

石英管管口“崩边”缺陷

石英管管口“崩边”缺陷 

      四、相关检测设备展示

赛拓星眸石英玻璃棒在线检测气线、凹坑设备主要用于石英玻璃棒生产过程中，在滴料后、水冷却前，对石英玻璃棒中的气线、凹坑进行实时检测，检测到气线、凹坑等缺陷后自动发送NG信号给剔除机构，精准剔除不良品，自动完成良品与不良品的分选，目前设备已在半导体材料行业客户工厂批量应用。石英玻璃棒在线检测气线、凹坑设备参数如下：

Ø  检测缺陷：气线、凹坑

Ø  检测精度：0.1mm（像素精度）

Ø  检测速度：60m/min

Ø  稳定性：7*24时稳定运行

Ø  气线漏检率：≤0.2‰

Ø  凹坑漏检率：≤1‰

石英玻璃棒在线检测气线、凹坑设备